從靶材濺射出來的物質將會在陽極表面沉積出相應的化合物,阻塞電荷傳導的通路,造成電荷的不斷積累,最後導致陽極作用的喪失...
比如稀土材料銦,中國出口原材料銦到日本,出口價大約2778元~3000元/千克 ,到日本後經過加工成高階產品比如銦靶材(ito粉),然後再回流到中國,中國進口銦靶材的價格高達每噸兩三千萬元...
分類根據形狀可分為長靶,方靶,圓靶,異型靶根據成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材根據應用不同又分為半導體關聯陶瓷靶材、記錄介質陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等根據應用領域分為微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材...
涉及上市公司:雅克科技(含氟電子氣體具有規模優勢)、昊華科技(中國化工集團旗下科技型企業、眾多產業佈局)、華特氣體(科創板,擁有較多專利,有技術優勢)、南大光電(佈局高階電子氣體,毛利較高)光掩膜版光掩膜版是微電子製造中光刻工藝所使用的圖形...