什麼叫研磨晶片?
無極刀 發表于 農業2021-05-28
一種晶片研磨方法,能夠更好地對超大晶片進行直接研磨工作,並且能夠保證對晶片的研磨均勻及研磨力度。晶片研磨方法,包括以下步驟:
(1)、首先採用固定夾具對目標晶片進行固定;
(2)、採用幹法刻蝕對目標晶片的氧化層進行刻蝕;
(3)、接著採用離子束刻蝕機對目標晶片的金屬層進行刻蝕及汙染層的清理;
(4)、最後對目標晶片經刻蝕後的表面進行研磨拋光,使之平整。
晶片製作過程快到最後工序了需要研磨:矽片的背面需要進行研磨以減少襯底的厚度,然後把一個後塑膠膜貼附在矽片背面,再沿劃線片用帶金剛石尖的鋸刃將矽片上每個晶片分開,塑膠膜能保持晶片不脫落。在裝配廠,好的晶片被壓焊或抽空形成裝配包,再將晶片密封在塑膠或陶瓷殼內
研磨用晶片是透過板材的成形加工來製作的,具有與研磨用晶片本體一體的4個研磨用晶片延長部