OLED的生產難度非常之大，其核心技術在於上游的精密製造，而精密製造需要精密製造的裝置，但是這些裝置的產能卻是有限的。

OLED最核心的蒸鍍裝置控制在佳能旗下的蒸鍍機廠商Tokki手裡，因此三星提前用訂單鎖定了Tokki的產能實行壟斷生產。

那麼何謂蒸鍍呢？蒸鍍系統又是什麼呢？

真空蒸鍍

真空中透過電流加熱，電子束轟擊加熱和鐳射加熱等方法，使被蒸材料蒸發成原子或分子，它們隨即以較大的自由程作直線運動，碰撞基片表面而凝結，形成薄膜。

這個過程就叫做真空蒸鍍。

在真空蒸鍍過程中要求鍍膜室裡殘餘分子的自由程大於蒸發源到基片的距離，來保證鍍膜的純淨和牢固。

OLED蒸鍍系統功能

主要系統功能可分為O2等離子處理、軟體控制、傳送腔體、有機蒸鍍、金屬蒸鍍和材料蒸鍍控制。

O2等離子處理

去除玻璃表面有機雜質及塵粒，改變表面粗糙度和提高功函式。

軟體控制

軟體控制與裝置相結合完成整個鍍膜工作。

主要是用來控制各氣閥，閥門的開關、控制玻璃基片的傳人和傳出、蒸鍍工藝。

傳送腔體加熱烘乾基片玻璃。

有機蒸鍍

把各個組合的有機材料按一定的順序，結構均勻的蒸鍍到已光刻好的ITO玻璃（基片）上。

金屬蒸鍍

為製作金屬陰極，蒸鍍金屬陰極材料（AL）到基片上。

材料蒸鍍

透過溫度控制表控制有機材料的蒸發速度，厚度測量儀精確測量及控制有機材料的厚度；

功率蒸發表控制金屬材料的蒸發速度，厚度測量儀讀取蒸發速度和厚度等資料，以完成蒸鍍工作。

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