早在1927年，著名的Davisson–Germer電子衍射實驗證實了電子的波動性，這個實驗也為物質波理論的提出者德布羅意帶來了諾貝爾物理學獎。

電子衍射實驗相對容易一些，而且在今天任何電子束裝置和電子顯微鏡裡都司空見慣。電子的雙縫干涉稍要難一些，需要兩束電子物質波的相位一致才能干涉，直到1961年，才因電子束技術的進步，由德國圖賓根大學的Claus Jönsson團隊實現，隨後他又做了多縫干涉的實驗。1974年，一個升級版的實驗在義大利科學院（CNR）實現，這是第一次用一個接一個單電子實現的干涉實驗，得到了非常清晰的干涉條紋，論文如圖。這個實驗圖還入選了2002年Physics World評選的史上最美的十個實驗之一。

電子雙縫干涉實驗和光子雙縫干涉實驗本質上一樣，都是基本粒子波動性的體現。在電子打到屏上的那一刻，波函式就已經塌縮了，測量過程沒有人的行為參與，不存在人的意識影響。