131906912002021-11-08 11:35:00

又名二氯矽烷，分子式SiH2Cl2，分子量101，沸點8。2℃，溶點－122。0

常溫下呈液化氣體，25℃液體密度1。25kg/L，極易水解，在空氣中冒白煙，有鹽酸氣味，水分存在下有極強的腐蝕性。

比容：0。239m3/kg（21。1º；C， 101。325kPa）

CAS Registry No。：4109-96-0

應用：半導體外延和化學氣相沉積工藝中的矽源氣體。有機矽化合物的生產。製作大規模積體電路所必需的優質矽源

在空氣中易燃，100℃以上能自燃，燃燒後生成氯化氫和氧化矽。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性矽。施以強烈撞擊時也會自行分解。在溼空氣中產生腐蝕性煙霧。與鹼、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。

二氯矽烷的毒作用主要是由它在溼空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此，人吸入後激烈刺激呼吸道，引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚並導致眼灼傷。接觸面板可引起化學灼傷。液態二氯矽烷也可引起冷灼傷