使用者szl2022-07-18 13:23:11

多晶矽最主要的工藝包括，三氯氫矽合成、四氯化矽的熱氫化（有的採用氯氫化），精餾，還原，尾氣回收，還有一些小的主項，制氫、氯化氫合成、廢氣廢液的處理、矽棒的整理等等。

多晶矽是由矽純度較低的冶金級矽提煉而來，由於各多晶矽生產工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產工藝技術不同；進而對應的多晶矽產品技術經濟指標、產品質量指標、用途、產品檢測方法、過程安全等方面也存在差異，各有技術特點和技術秘密，總的來說，目前國際上多晶矽生產主要的傳統工藝有：改良西門子法、矽烷法和流化床法。