娃娃2021-03-22 14:56:09

化學氣相沉積是一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。化學氣相澱積是近幾十年發展起來的製備無機材料的新技術。化學氣相澱積法已經廣泛用於提純物質、研製新晶體、澱積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以透過氣相摻雜的澱積過程精確控制。目前，化學氣相澱積已成為無機合成化學的一個新領域。

氣相沉積爐的工作原理是將沉積源引入沉積爐內，然後加熱到一定工藝溫度，在真空泵抽氣系統產生的引力作用下，將沉積源引至沉積室，然後加熱到一定工藝溫度，使沉積源沉積在沉積室內的工件上，從而在工件上產生一層沉積源膜，為了得到工藝要求的厚度，此沉積過程一般需連續工作20 天左右。

目前應用到化學氣相沉積的裝置主要採用中部出爐或者上部出爐。中部開爐方式的爐體結構對於出裝料均不方便，操作難度大，且安全危險性高。此外，上爐體以及爐蓋在反覆拆裝的過程中容易導致爐體相互錯位。

美好346192022-03-13 16:51:35

氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。

⑴ 為沉積爐主體內有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。

⑵ 為混氣罐，由1只電動蝶閥、2只浮子流量計和4只不鏽鋼手動截止閥組成，負責氬氣和丙烷的混氣配比，以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。

⑶ 2臺滑閥泵負責爐內空氣及工作廢氣的排除，使爐子工作在恆定的壓力範圍之內。

⑷ 過濾罐2臺負責滑閥泵前級的粉塵排除，……