34781124162021-08-05 15:07:30

在外延生長領域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導體晶圓的作用。目前，主流外延裝置廠商配套的石墨盤在結構上基本相同，均採用在石墨盤基座上設計一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種設計在生長小尺寸的晶圓（比如說4寸半導體晶圓）來說是合理的，維護起來也很方便。但對於生長大尺寸的外延片，基於降低晶圓被旋轉的石墨盤甩出的風險，晶圓槽底部相對於石墨盤頂部的高度比小尺寸石墨盤大一些。這種設計導致了生長大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出現了以下幾個問題：1）由於石墨盤與晶圓接觸區域較多，在生長厚膜外延片時，沉積的外延層會增加石墨盤與半導體晶圓的粘接，使得生長完成後將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難，甚至可能導致裂片；2）因晶圓邊緣處較高的臺階使得該區域存在氣體湍流，容易滯留較多的生長氣體，從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差；3）因外延爐一般採用射頻感應加熱，熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊緣到中心，使得石墨盤邊緣的溫度高於中心區域的溫度，這在大尺寸外延生長中尤為突出。

七月與安生1312021-07-19 09:46:32

石墨盤根主要是由各種增強纖維、金屬絲（鋼絲、銅絲、鎳絲、碳纖維，預氧絲、玻璃紗）等增強的石墨線為原料精工編織而得。適用於高溫高壓條件下的動密封。

回答星辰t2021-07-19 09:45:44

石墨盤根可以用做防腐密封，石棉盤根防腐密封適用於酸鹼、閥門、泵、活、液氨、水、油品介質、塞。石墨盤根也可以用於泵、反應釜、高溫、高壓、耐腐蝕介質下閥門的密封。