IC 的substrate基底也像普通的PCB一樣分好幾層嗎?
Diego大叔 發表于 娛樂2017-04-13
是
一樣啊,鋪多層用via連結,往細了說就長了,沒時間打那麼多,自己多看看書吧。
《CMOS VLSI Design A Circuits and Systems Perspective》
至於capacitance的問題,你仔細想一想,最簡單的理解方法大概就是抽象簡化成平行板電容器了,d在上面還是下面?這樣就明白為啥大了吧。
還有個叫矽通孔(Through Silicon Via, TSV)的技術,是做三維積體電路的,就是一個晶片多層電路。
這個問題我也是醉了,如何在device上面鋪si?鋪上了si,dielectric怎麼辦?是不是還要留一點spacing?。。。。不論什麼工藝,都是做不出來的啊
差不多,但不是。你這樣的理解,不影響畫電路,但是實際情況稍有不同。
晶片最下面是substrate,是矽。在晶片生產車間裡,作為原料的空白矽片就是一大片純substrate。生產過程中,先在substrate上透過N道工序印刷出電路元件;然後在上面覆蓋第一層絕緣層(二氧化矽)和穿過該絕緣層的垂直導通線via1;在此絕緣層上印刷metal1;在metal1上面是第二層絕緣層和穿過它的via2;再上面是metal2……以此類推,直到最上面的一層metal。這個metal上會留出一些方形區域做連線封裝引腳用的PAD;除了PAD區域外,其他地方再覆蓋一層比較厚的絕緣層,用來作為外表面保護內部電路。